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Polytec MSA-650 IRIS激(jī)光振測儀(yí)
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品  牌:
Polytec 
産  地:
德國 
型(xíng)  号:
Polytec MSA-650 IRIS激光振(zhèn)測儀 
技術資料
産(chǎn)品資料下(xià)載(zǎi)中心(xīn)
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    應用光學檢測矽封裝MEMS元(yuán)器件(jiàn)内部結構(gòu)振動特點(diǎn)
    MEMS元器件的信息特點(diǎn)檢測和機械設備回應數據可(kě)視化針對(duì)産(chǎn)品研發、常見故障(zhàng)解決(jué)和(hé)有限元(yuán)分析(xī)實體模型認證而言(yán)十分(fèn)關鍵。
    Polytec企業的(de)MSA顯微鏡式激(jī)光測振儀能迅速、精确地(dì)檢測超微(wēi)結構的面外振(zhèn)動(OOP)揉面内(nèi)振動(IP)。
    全新升級的MSA-650IRIS顯微鏡式激(jī)光測振儀乃至可以通過完善的小型矽(xī)密封性(xìng)元(yuán)器件開展(zhǎn)檢測,如慣性(xìng)力傳感器,MEMS話筒,工作壓力傳感器等。
    根(gēn)據矽封裝元器(qì)件的不(bú)一樣層(céng)檢測MEMS動态性特點
    即時面外振(zhèn)動(dòng)檢測,較大網絡帶寬達(dá)到25MHz
    亞(yà)皮米級面(miàn)外振(zhèn)動偏(piān)移屏幕分辨率
    MEMS元器(qì)件的最(zuì)後(hòu)有限元分(fèn)析實體模型認證
    能夠更(gèng)好地(dì)分離出(chū)來元器件的(de)每個層
    頻閃法檢測平行面振動,網絡帶寬達到(dào)2.5MHz
    便(biàn)于集(jí)成化至生産流(liú)水線(xiàn)的自(zì)動測量系統(tǒng)軟件(兼(jiān)容商業探針(zhēn)台)
    能夠更好地分離出來(lái)元器件的每(měi)個層

    特點(diǎn)
    MSA-650IRIS檢(jiǎn)測系統軟件(jiàn)包含(hán)控(kòng)制闆、含有附加參照安全通道的頻率計,極高精密度(dù)紅外(wài)光源的光(guāng)學頭和強有(yǒu)力(lì)的配(pèi)套設施程序包。
    其(qí)專(zhuān)用型的紅(hóng)外相機和低(dī)相關SLD源,是在其通過矽帽獲(huò)得詳細矽封裝構造在(zài)作業情(qíng)況下的全(quán)部層(céng)制構(gòu)造的信息性能的重要。
    矽封裝MEMS元器件的(de)多形式檢
    因(yīn)為矽(xī)在光波長(zhǎng)為1050nm以上的(de)近紅外光譜中是通透的,根據紅外線幹(gàn)涉儀的振動精确測(cè)量技術(shù)性(xìng)促使獲得(dé)密封性MEMS元器件最真正和(hé)最有(yǒu)象征性的振動特點(diǎn)變成很有(yǒu)可能。
    Polytec全新升級(jí)的最現代化的且已得到(dào)發明的MSA系(xì)統軟件能(néng)保證最好網站安全性,更強的(de)分離出來(lái)MEMS元器件的每(měi)個(gè)層。MSA-650IRIS顯微鏡式激光測振儀内嵌專用(yòng)型紅外相機和(hé)低相關SLD源,是當(dāng)前通(tōng)過矽(xī)封裝構造(zào)獲(huò)得詳細動态性性(xìng)能的系(xì)統軟件,實際(jì)上時面(miàn)外振動(dòng)網絡帶寬達到(dào)25MHz,平行面振動屏(píng)幕分(fèn)辨率低至(zhì)30nm。

     
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