BROOKS 質量流量控制器 GP200系(xì)列 - 流量計 - 湖北裕祥創揚工程有限公司

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BROOKS 質量流量控制器 GP200系列(liè)簡介
所(suǒ)有(yǒu)的表現。沒有任何限(xiàn)制。
GP200 系列是第一(yī)款完全不敏感(gǎn)的基于壓(yā)力的質量流量控制(zhì)器 (P-MFC)，專(zhuān)為半導體制造中的先進蝕刻和沉(chén)積工(gōng)藝而設計。
GP200 系(xì)列(liè) P-MFC 采用技(jì)術架構，克服(fú)了傳統 P-MFC 的(de)局(jú)限性，即使在(zài)輸送(sòng)低蒸氣壓(yā)工藝氣體時也(yě)能提供最精确的工藝(yì)氣(qì)體輸送。它(tā)包括幾個(gè)獨特的設計方面，包(bāo)括與下遊(yóu)閥門架構相結(jié)合的集成壓差(chà)傳感器，可在行業中最廣泛的(de)操作條件(jiàn)下實(shí)現最(zuì)精确的工藝氣體輸送。
由于 GP200 系列支持如此廣泛(fàn)的(de)工藝(yì)條件，它可以(yǐ)用作許多傳(chuán)統 P-MFC 和熱 MFC 的(de)直接替代(dài)和升級。它降低了(le)氣體輸送系統的複雜性和(hé)擁有成本，因為(wéi)它消除了(le)對壓力調節器和傳感器等組件的(de)需求。

特征
真正的差壓測量
降低入口壓力運行
下遊閥門結(jié)構
匹配的瞬态響應
零洩漏控制閥
MultiFlo TM技術提供了無與(yǔ)倫比的靈活性——一個設(shè)備可以針(zhēn)對數千種不(bú)同的氣體和流量(liàng)範圍配置(zhì)進行編程，而無需從氣體管(guǎn)線中移除 MFC 或(huò)影響精度(dù)
本地顯示顯(xiǎn)示流量、溫度、壓力(lì)和網絡地(dì)址
DeviceNet TM、EtherCAT®、RS-485 L-Protocol 和模拟(nǐ)接(jiē)口
好處
通(tōng)過消除匹配和補(bǔ)償兩個獨(dú)立壓力傳(chuán)感(gǎn)器的要(yào)求，GP200 差(chà)壓技(jì)術降(jiàng)低了(le)測量不确定性，從而提高了準(zhǔn)确性(xìng)、可重(zhòng)複性和漂移性能。
由(yóu)于專為低壓(yā)差測量而優化的 GP200 差壓傳感(gǎn)器，現在使用 P-MFC 可(kě)以在較低的入口壓力下(xià)實現更安全(quán)的晶圓(yuán)廠操作。
下遊閥門結(jié)構确保精(jīng)度獨立于(yú)下遊(yóu)壓力，使流量輸送(sòng)到高達 1200 Torr 的壓力。快速關閉閥(fá)門解決了上遊 MFC 閥門設(shè)計中出(chū)現(xiàn)的非生産性配方等待時間(jiān)或“尾部效應(yīng)”，這些閥門需要額外的時間來排(pái)出其内部氣體體積。
超快、高度(dù)可重複的上升(shēng)和下(xià)降流動穩定時(shí)間可在先進的高循(xún)環沉積和蝕刻工藝(yì)中實現更嚴格的工藝控(kòng)制。
閥門關閉性(xìng)能提高 100 倍
使用 MultiFlo TM，MFC 滿量程流量範圍通(tōng)常可以按 3:1 的系數重新按比例縮小，而不會影(yǐng)響精(jīng)度、量程比或規(guī)格洩漏，以(yǐ)實現最佳工藝和庫存靈活性(xìng)
方便的用戶顯示和(hé)獨立的診斷/服務端(duān)口有(yǒu)助于設(shè)備安裝(zhuāng)、監控和故障排除
主要應用
半導體制造
蝕刻(kè)
化學(xué)氣相沉積(jī) (CVD)
需要高純度全(quán)金屬流(liú)路的氣(qì)流控制應用