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流量計
BROOKS 質量流量控制器 GP200系列
湖北卓鎂(měi)誠信銷售BROOKS控制器，BROOKS電源，BROOKS流量計，BROOKS壓力(lì)計
品　　牌：
BROOKS 
産　　地：
美(měi)國 
型　　号：
BROOKS 質量流量控制器 GP200系列 
技術(shù)資料：
數據資料下載中心
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  • BROOKS 質量流量控制器 GP200系列簡介
    所有的表現。沒有任何限制(zhì)。
    GP200 系列是第一款完全不(bú)敏(mǐn)感的基于壓力的質量流(liú)量(liàng)控制器 (P-MFC)，專為半導(dǎo)體制造(zào)中的先進(jìn)蝕(shí)刻和沉積工藝而設(shè)計。
    GP200 系列 P-MFC 采用技術架構(gòu)，克服了傳統 P-MFC 的局限性，即使在輸送低蒸氣(qì)壓工藝氣體時也能提供最精确的工藝氣體輸送。它包括幾個獨(dú)特的設計(jì)方面(miàn)，包括與下遊閥門架(jià)構相結合的集成壓差傳感器，可在(zài)行業中最廣泛的操(cāo)作條件下實現最精确的工藝(yì)氣體輸(shū)送。
    由于 GP200 系列支持(chí)如此(cǐ)廣泛的工藝條件，它可(kě)以用作許多(duō)傳統 P-MFC 和熱 MFC 的直接替代和升級(jí)。它降低了氣體(tǐ)輸(shū)送系統的複雜性(xìng)和擁有成本，因為它(tā)消除了對壓力(lì)調節器和傳感器等組(zǔ)件(jiàn)的需求。


    特征
    真正的差壓測量
    降低入口壓力運行(háng)
    下遊閥門結(jié)構
    匹配的瞬态響(xiǎng)應
    零洩漏控制閥(fá)
    MultiFlo TM技術提供了無與倫比的靈活性——一(yī)個設備可以針對(duì)數千種不同的氣(qì)體和流量範圍配(pèi)置(zhì)進行編程，而(ér)無需從氣體管線中(zhōng)移除 MFC 或影響精度(dù)
    本(běn)地顯示顯示流量、溫度、壓力和網(wǎng)絡地址
    DeviceNet TM、EtherCAT®、RS-485 L-Protocol 和模拟接口
    好處
    通過消除匹配和補償(cháng)兩個獨立壓力傳感器的要求，GP200 差壓技術降低了測量不(bú)确定(dìng)性，從而提高了準确性、可重複性和漂移性能。
    由于專為低壓差測量而優化的 GP200 差(chà)壓傳(chuán)感器，現在使用 P-MFC 可以在較低的入口(kǒu)壓力下實現更安全的晶圓廠操作。
    下遊閥門結構确保精度(dù)獨立于下遊壓力，使流量輸送到高達 1200 Torr 的壓力。快速關閉閥門解決了(le)上遊 MFC 閥門設計中出現的非生(shēng)産性配方等待時(shí)間或“尾部效應”，這些閥門需要額外的時間來排出其内部氣體體(tǐ)積。
    超快、高度可重複的(de)上升和下降(jiàng)流動穩定(dìng)時間可在先進的高循(xún)環沉積和蝕刻工(gōng)藝中實現更嚴格的工(gōng)藝控制。
    閥門關閉性能(néng)提高 100 倍
    使用 MultiFlo TM，MFC 滿量程(chéng)流量範圍通常可以按 3:1 的系數重新按比例縮小，而不會影響精度、量程比或規(guī)格洩(xiè)漏，以實現最佳工藝和庫存靈活性 
    方(fāng)便的用戶顯示(shì)和獨立的診斷/服務端口有助于設備安裝、監控和(hé)故(gù)障排除
    主要應用
    半(bàn)導(dǎo)體制造
    蝕刻
    化學氣相沉積 (CVD)
    需(xū)要高純度(dù)全金(jīn)屬流路的氣流(liú)控制應用
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